全氟密封解决方案

全氟密封解决方案
就目前而言半导体制造业对全氟橡胶有较大的需求。例如,无水蚀刻法要求门和窗,以及排气阀都能耐受腐蚀性很高的化学品;在光学掩蔽过程中,滤光器、电耦和阀门所用的密封垫也存在类似的需要;等离子CVD(即化学气相淀积)过程中,真空舱、箱盖等所用的密封垫都必须能耐等离子体破坏;在阴极真空和喷镀方法中,要求密封垫具有较低程度的漏气速率。
某半导体配件制造商将能承受化学等离子体攻击几种可能用到的材料制成密封垫,进行了大量试验,结果见表7(试验方法及条件略)。试验后外观检查发现,全氟橡胶样本保持了平滑的表面状态,这表明材料没有发生明显分解。事实上,所有测试的全氟橡胶都没有明显的破坏,而氟橡胶和硅橡胶类则完全分解。

全氟密封圈可以想象成为不可压缩的、具有提高表面张力的“高粘度流体”。不论是受周围机械结构的机械压力作用、还是受液压流体传递的压力作用，这种“高粘度流体”在沟槽中“流动”，形成“零空间”，或者说阻止了被其密封的流体的流动。全氟（FFKM）:具有非常优异的耐化学腐蚀性能，耐酸、碱、酮、酯、醚、强氧化剂等绝大多数化学品。较高耐热可到320℃。通常用于良好性的解决密封问题，价格为一般橡胶材质的近百倍，非常昂贵。一般使用温度范围为-25~240 ℃。有些特殊的全氟橡胶可用到320 ℃。

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